په نیمه‌سیمه‌ییز تولید کې، د کرایوجینک توزیع سیسټمونه تمه کېږي چې د مایع نایتروجن یا ارګون له یوې نقطې څخه بلې نقطې ته د لیږد څخه ډیر څه وکړي. مایع باید د کارونې تر نقطې پورې باثباته، پاک او واحد پړاو پاتې شي. حتی د تودوخې لږ مقدار ننوتل کولی شي فلش ګاز، د فشار بدلون، یا د رطوبت ککړتیا رامینځته کړي چې د پروسې ثبات اغیزمنوي.

له همدې املهد ویکیوم انسولیټډ پایپسیسټمونه عموما د دودیز فوم موصل شوي پایپونو پرځای په سیمیکمډکټر فابریکو کې کارول کیږي. کله چې په سمه توګه اداره شوي سره یوځای شيد متحرک ویکیوم پمپ سیسټم، د تودوخې ټول لیک کولی شي د 3 W/m څخه ښکته پاتې شي پداسې حال کې چې په ټوله لیږد لیکه کې د اوږدمهاله خلا ثبات ساتل کیږي.

د سیمیکمډکټر غوښتنلیکونو لپاره، د ویکیوم موصلیت باید د پایپ شاوخوا د غیر فعال طبقې په توګه ونه لیدل شي. دا یو فعال حرارتي سیسټم دی چې د اندازه کولو وړ ویکیوم فعالیت او اوږدمهاله ساتنې ته اړتیا لري. د لوړ دقیق چپ تولید چاپیریال کې، حتی د مایع سنتریت تودوخې کې یو څه زیاتوالی ممکن د دوه مرحلو جریان شرایطو لامل شي چې د یخولو سرکټونو، پاکولو سیسټمونو، یا د پروسې کنټرول تجهیزاتو سره مداخله کوي.

ولې د کریوجینک سیمیکمډکټر سیسټمونو کې د تودوخې لیک مهم دی؟

د تودوخې د لیږد هر کرایوجینک لاین د تودوخې د لیږد درې لومړني بڼو لخوا اغیزمن کیږي:

• د حلقوي فضا له لارې وړانګې
• د پاتې مالیکولونو له امله د ګازو لیږد
• د ملاتړونو او فاصلو له لارې قوي لیږد

په سمه توګه ډیزاین شوید ویکیوم انسولیټډ پایپ، د حلقوي فشار معمولا د 1×10⁻⁴ Pa څخه ښکته کمیږي. په دې خلا کچه کې، د ګاز پاتې مالیکولونه د حلقوي تشې په پرتله د پام وړ لوی اوسط آزاد لاره لري، کوم چې د ګاز تودوخې لیږد خورا کموي.

د وړانګو تودوخې لیږد د څو طبقو عایق (MLI) په کارولو سره کنټرول کیږي. عایق د انعکاسي ورق او ټیټ چلونکي فاصله موادو د بدیل طبقو څخه جوړ دی. د سم طبقې کثافت او نصبولو میتود سره، د وړانګو تودوخې جریان په هر مربع متر کې یوازې څو واټونو ته راټیټ کیدی شي.

پاتې حرارتي لاره په عمده توګه د میخانیکي ملاتړونو څخه راځي. د دې اغیزې کمولو لپاره، د ټیټ چالکتیا لرونکي موادو لکه G-10 فایبر ګلاس یا تورلون® معمولا کارول کیږي. دا ملاتړونه لاهم د عملیاتو په جریان کې د تودوخې انقباض، وایبریشن او زلزلې بار زغملو لپاره کافي میخانیکي ځواک ته اړتیا لري.

د اوږد لیږد واټن په اوږدو کې، د ویکیوم موصلیت او فوم موصلیت ترمنځ توپیر خورا د پام وړ کیږي. یو ښه ساتل شوی ویکیوم سیسټم کولی شي د ډیرو کلونو لپاره مستحکم حرارتي فعالیت وساتي، پداسې حال کې چې د فوم موصلیت په تدریجي ډول د اتموسفیر څخه رطوبت جذبوي. کله چې رطوبت د موصلیت جوړښت ته ننوځي او کنګل شي، د تودوخې موثریت معمولا د وخت په تیریدو سره کمیږي.

په عملي سیمیکمډکټر LN₂ ویش سیسټمونو کې،د ویکیوم موصل شوي پایپونهکولی شي د دودیزو فوم موصل شوي لینونو په پرتله د جوش بندۍ کچه د پام وړ کمه کړي، په ځانګړي توګه په اوږده بهرني منډو یا په دوامداره توګه فعال اصلي سرلیکونو کې.

د متحرک ویکیوم پمپ سیسټم

د جامد ویکیوم جاکټونو یوه ستونزه دا ده چې د ویکیوم کیفیت ممکن د کلونو په اوږدو کې د ګازو د خپریدو، د هیلیم نفوذ، یا مایکروسکوپي لیک له امله ورو ورو خراب شي.

د دې د حل لپاره، لوی قطرد ویکیوم انسولیټډ پایپسیسټمونه د a سره سمبال کیدی شيد متحرک ویکیوم پمپ سیسټم. په دې سیسټم کې معمولا یو کمپیکټ ټربو مالیکولر یا سکرول پمپ ترتیب شامل وي چې په دوره یي ډول د حلقوي خلا خپل اصلي ډیزاین حالت ته بیرته راولي.

د خلا کچه په دوامداره توګه د سړې کیتوډ ګیجونو په کارولو سره څارل کیږي. پمپ یوازې هغه وخت فعال کیږي کله چې فشار د هدف ټاکل شوي نقطې څخه لوړ شي، نو د بریښنا مصرف او ساتنې اړتیاوې نسبتا ټیټې پاتې کیږي.

د تایوان په سینچو کې د سیمیکمډکټر تاسیساتو د لوړولو په یوه پروژه کې، د فعال مدیریت شوي ویکیوم پمپ کولو سیسټم د LN₂ د زاړه لیږد سرلیک ته اجازه ورکړه چې د تولید لاین بندولو پرته د خپل اصلي عملیاتي حالت ته نږدې حرارتي فعالیت بیرته ترلاسه کړي. د نویو پروژو لپاره، د ویکیوم فعال ساتنه هم آپریټرانو ته د سیسټم د خدمت ژوند په اوږدو کې د اوږدمهاله موصلیت ثبات کې ښه باور ورکوي.

مواد او د سیسټم ډیزاین

د سیمیکمډکټر او الټرا لوړ پاکوالي غوښتنلیکونو لپاره، د داخلي پروسې پایپ معمولا د 304L یا 316L سټینلیس سټیل څخه جوړیږي. داخلي سطحې پاکې شوي، پاکې شوي، او غیر فعال شوي ترڅو د اکسیجن پاک خدماتو اړتیاوې پوره کړي او د ککړتیا خطر کم کړي.

بهرنۍ جاکټ ممکن د نصب کولو چاپیریال پورې اړه لري رنګ شوي کاربن فولاد یا سټینلیس فولاد وکاروي. د پاک خونې سره نږدې سیمو کې، سټینلیس بهرني جاکټونه ډیری وختونه د زنګ وهلو یا سطحې ککړتیا څخه مخنیوي لپاره غوره کیږي.

د تودوخې انقباض هم باید په دقت سره په پام کې ونیول شي. د LN₂ لیږد لاین کولی شي د محیطي تودوخې او عملیاتي تودوخې ترمنځ په هر متر کې شاوخوا 2.5-3 ملي میتر انقباض وکړي. د دې حرکت جذبولو لپاره، د بیلو ډوله پراختیا معاوضه کونکي معمولا د پایپ شبکې په اوږدو کې په محاسبه شوي لنگر ځایونو کې نصب کیږي.

چیرې چې حرکت یا انعطاف ته اړتیا وي،د ویکیوم موصل شوي انعطاف وړ نلیاسمبلۍ عموما کارول کیږي. په عادي ځایونو کې د ټانک اتصالونه، د تجهیزاتو هک اپونه، څو اړخیزې څانګې، او ګرځنده پروسې سکیډونه شامل دي.

دا انعطاف منونکي نلۍ د ویکیوم جاکټ او د سخت ویکیوم پایپ ته ورته MLI جوړښت سره یو نالیه شوی داخلي کور کاروي. په سمه توګه ډیزاین شوي اسمبلۍ کولی شي د تکراري کریوجینک حرارتي سایکلینګ وروسته د ویکیوم بشپړتیا وساتي پداسې حال کې چې د بهرني یخ جوړیدو مخه هم نیسي چې په غیر موصل شوي نلۍ کې عام دي.

د ویکیوم موصل شوي والوزاود پړاو جلا کوونکي

د تودوخې د لیک مدیریت یوازې د پایپ مستقیم برخو پورې محدود نه دی. والونه اود پړاو جلا کوونکيهمدارنګه د باثباته کرایوجینک جریان شرایطو ساتلو کې لوی رول لوبوي.

A د ویکیوم انسولیټډ والومعمولا د پراخ شوي بونټ او ویکیوم جاکټ شوي بدن څخه کار اخلي ترڅو د سیل کولو مهمې سیمې د خورا ټیټې تودوخې څخه لرې وساتي. دا د ډډ بسته بندۍ شاوخوا د کنګل کیدو مخنیوي کې مرسته کوي او د والو جوړښت دننه ناغوښتل شوي کنډیشن کموي.

د ویکیوم موصلیت پرته، والونه کولی شي د سیسټم دننه د تودوخې د لیکیدو متمرکز ټکي شي. د مایع کریوجینک خدماتو کې، دا ممکن د بخار ځایی جیبونه، د جریان بې ثباته شرایط، یا د اوبو د هامر پیښې رامینځته کړي.

د سیمیکمډکټر پروسې سیسټمونو لپاره، د پراخ شوي بونټ ګلوب والونه او د پورته ننوتلو بال والونه معمولا د ASME B31.3 او EN 13480 اړتیاو سره سم کارول کیږي.

A د ویکیوم انسولیټډ فیز سیپریټرد فلش ګاز لرې کولو لپاره کارول کیږي مخکې لدې چې مایع حساس جریان تجهیزاتو ته ننوځي. په سیمیکمډکټر غوښتنلیکونو کې، بې ثباته دوه مرحلې جریان کولی شي د فشار بدلونونه رامینځته کړي چې د پروسې الارمونه یا د تجهیزاتو انټرلاکونه رامینځته کړي.

ډیری جلا کونکي ډیزاینونه د بخار-مایع جلا کولو موثریت ښه کولو لپاره د داخلي ډیمیسټر جوړښت سره یوځای د تنجینتي داخلي برخې کاروي. په ډیری پروژو کې، جلا کونکی د پروسې فرش ته نږدې نصب شوي کوچني ټانک سره یوځای کیږي. کوچنی ټانک د ځایی بفر حجم په توګه کار کوي چې د پام وړ اضافي تودوخې بار معرفي کولو پرته د لنډمهاله تقاضا بدلونونو ثبات کې مرسته کوي.

د سیمیکمډکټر پروژې مثال

په سویلي کوریا کې د DRAM تاسیساتو د پراختیا پروژې لپاره د LN₂ نوي ویش شبکې ته اړتیا وه چې د ډوبیدو-یخ شوي ازموینې تجهیزات او د ویفر پروسس کولو وسایل وړاندې کوي.

په دې نصب کې شاوخوا ۱۸۰ متره سخت ویکیوم انسولیټډ پایپ شامل وو چې د ویکیوم انسولیټډ انعطاف وړ نلی اسمبلۍ له لارې د ډیری وسیلو څانګو سره وصل وو. د ویکیوم انسولیټډ فیز سیپریټر او د ۲ متر مربع کوچنی ټانک د لوی ذخیره کولو ساحې ته نږدې نصب شوي وو.

د متحرک ویکیوم پمپ سیسټم د اصلي 6 انچه لیږد لینونو کې د 5×10⁻⁶ mbar څخه ښکته حلقوي فشار ساتلی.

د کمیشن کولو په جریان کې، د ثابت عملیاتي شرایطو لاندې په لومړني سر کې د تودوخې لیک اندازه په اوسط ډول شاوخوا 1.3 W/m وه. د یو کال دوامداره خدمت وروسته، د ویکیوم بیا رغونې دوره د موصلیت فعالیت اصلي اساس حالت ته نږدې ساتلی و.

د پخوانۍ فوم-انسولیټ شوي مفکورې په پرتله، تاسیساتو د مایع نایتروجن ضایعات د پام وړ کم او د عملیاتي ثبات ښه والی راپور ورکړ. د پروسې لاګونو هم د رطوبت پورې اړوند د ککړتیا پیښې نه دي ښودلي چې د موصلیت تخریب سره تړاو لري.

غوښتنلیکونه

د ویکیوم انسولیټ شوي کریوجینک لیږد سیسټمونه په پراخه کچه د سیمیکمډکټر تولید، د LNG زیربنا، صنعتي ګاز ویش، او د مایع هایدروجن غوښتنلیکونو کې کارول کیږي.

که څه هم عملیاتي چاپیریالونه توپیر لري، د انجینرۍ هدف ورته پاتې دی:

• د خلا ثبات ساتل
• د تودوخې ننوتل کم کړئ
• د لیږد په ټوله پروسه کې د مرحلې ثبات ساتل

د سیسټم ډیزاین معمولا د نړیوالو معیارونو لکه ASME B31.3، EN 13480، او ISO 21029 تعقیبوي چې د پروژې ساحې او سیمه ایزو اړتیاو پورې اړه لري.

د سیمیکمډکټر تاسیساتو لپاره، د کریوجینک توزیع سیسټم فعالیت په مستقیم ډول د عملیاتي موثریت، د مایع مصرف، او د پروسې اوږدمهاله اعتبار اغیزه کوي. له همدې امله، پایپونه، والوز، جلا کونکي، او د خلا ساتنې سیسټمونه باید د خپلواکو اجزاو پرځای د یو مدغم حرارتي سیسټم په توګه ډیزاین شي.

At د HL کریوجینکسموږ د EPC قراردادیانو، ګاز شرکتونو، او سیمیکمډکټر تاسیساتو سره کار کوو ترڅو د معیاري کتلاګ ترتیباتو پرځای د اصلي عملیاتي شرایطو، تودوخې بار اهدافو، او نصبولو اړتیاو پراساس د کریوجینک لیږد حلونه رامینځته کړو.

که تاسو د سیمیکمډکټر فابریکې نوې پروژه پلان کوئ یا د LN₂ موجوده توزیع شبکې لوړول غواړئ، زموږ د انجینرۍ ټیم کولی شي د اوږدې مودې عملیاتو لپاره د تودوخې لیک فعالیت، ویکیوم ستراتیژۍ، او سیسټم ترتیب ارزولو کې مرسته وکړي.